电子特气是半导体芯片制造不可或缺的电子化学材料，被誉为“电子工业的血液”，是产业链国产化的核心一环。受益于下游集成电路制造工厂产能扩张、制程技术节点微缩、3dnand多层技术的发展，集成电路制造中进行刻蚀、沉积和清洗的步骤增加，对上述工艺中所需的电子气体的纯度和质量也提出了越来越高的要求，需要纯度大于99.9999%（6n级），同时气体的杂质含量低于1×10-7甚至ppt级别（10-12），技术壁垒极高。发展面向先进制程的电子特气纯化关键技术，实现国产替代自主可控具有重要意义。
那么，如何突破电子特气技术难题？如何打通“研究-成果-产品-市场-产业”全链条转化通道，加速结出产业硕果？解决之道是院企联合研发、产学研同向发力。
去年12月，浙大衢州“两院”与杭氧集团签约共建“特种气体联合研发中心”，依托衢州研究院技术、人才、试验等专业力量，发挥杭氧国家级科改示范企业功能及装备制造、资本运作、政策等资源优势，搭建技术研发、产业转化孵化和人才培养的平台，打造院企合作的标杆典范。
短短半年时间，双方合作共建的联合研发中心已经开展了富有成效的研发。“我们衢州研究院自主研发的特气纯化技术小试实验已经调试完成，生产的产品纯度稳定达6n，搭建了电子特气第三方检测平台，并牵头起草6n级检测制定，逐步填补国内6n及以上检测方法空白，推动电子特气国产化。” 浙大衢州“两院”电子化学品研究所陈俐吭研究员介绍。
杭氧集团具有百年历史积淀，深低温和分离技术达到国际先进水平，是中国气体产业的开拓者和引领者。“只有开放合作，产业创新发展之路才能越走越宽广。希望在与衢州研究院的紧密合作中，加快科技成果精准落地转化，助力电子特气国产化。” 杭氧集团特种气体联合研发中心相关负责人表示。
来源：浙江大学衢州研究院
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